电场辐射型扫描电子显微镜

将电子枪产生的电子线照射到样品上,表面会产生二次电子。通过检测二次电子,可以观察样品表面的凹凸和形态。

为了在高真空环境中进行观察,根据样品的状态,可以观察数十万倍的微小区域。

样品室因为是高空,有可能排出气体的(含有水分的)不能进入观察室。另外,为了将电子线放在样品上,对于不通过电的样品,需要将表面用Au(低倍率)和Pt(高倍率)等金属薄薄地涂层进行测定。 样品表面由于电流而发热,所以如果是不耐热的样品表面可能会溶解或烧焦。

装置型号: JSM-7800F Prime日本电子产品
引进年月: 2017年2月

图1溶胶法制作的ITO膜
(倍率80000倍)

• 关于试验、分析或制备需要特别的材料、劳力等的,以及研究或调查的手续费的金额,相当于实际费用。
• 特别是规定期限需要紧急处理的手续费或使用费的金额是规定金额的2倍。
• 横滨市内有事务所或事务所的人员,中小企业基本法第2条中规定的中小企业(外部网站)以外的委托所涉及的手续费或使用费的金额是规定金额的1.3倍(有不足100日元的尾数时,将尾数金额升值到100日元。)。
• 横滨市内没有地址的人或者市内没有事务所或者事务所的个人或者法人或者其他团体的委托所涉及的手续费或者使用费的金额,是规定金额的1.5倍(有不足100日元的尾数时,将其尾数金额提高到100日元。)。