荧光X光膜厚计

如果将从目标中提取的X射线照射到金属薄膜样品(电镀膜等)上,则会释放出与构成样品的元素相应的荧光X射线。 将其强度按能量分离进行测量(检测器:比例计数管,PIN检测器)。 因为膜厚度和荧光X射线强度有关联,所以根据得到的荧光X射线强度可以知道膜厚度。

可以知道材料(金属、塑料)上的金属薄膜(单层膜、二层膜、合金膜)的膜厚度。 因为只是对样品照射X射线,原则上是非破坏性测量(但是,根据样品的大小不同,有时不破坏无法测量)。 另外,可以测定的元素范围是从22号Ti(钛)到92号U(铀)。

因为必须检测来自测量部的荧光X射线,所以如果检测器和测量点之间有遮蔽物,则无法测量(例如,凹形样品内侧部分的膜厚度等)。

含有同一金属的组合(例如黄铜上的铜镀膜等)的情况下,由于无法分离得到的荧光X射线,所以无法测定膜厚度。

装置型号: FT9400株式会社日立仪器
引进年月: 2014年11月

厚度试验荧光X光膜厚度计1样品1测量点2400日元

• 关于试验、分析或制备需要特别的材料、劳力等的,以及研究或调查的手续费的金额,相当于实际费用。
• 特别是规定期限需要紧急处理的手续费或使用费的金额是规定金额的2倍。
• 横滨市内有事务所或事务所的人员,中小企业基本法第2条中规定的中小企业(外部网站)以外的委托所涉及的手续费或使用费的金额是规定金额的1.3倍(有不足100日元的尾数时,将尾数金额升值到100日元。)。
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