埃利普索梅塔

光照样品的话,会在样品表面反射产生反射光。反射光可以分为p偏光和s偏光两个成分,这种偏光状态一般是椭圆(叶利普蒂卡),所以这样的测定方法被称为Eripsome。通过改变适用于样品的光的波长,测量其反射光的相位差Δ(Δ-Δ)和振幅比讯录,对样品的光学常数和膜厚度等进行评价。

因为是光学测定,所以可以非破坏性地进行测定,而且测定时间短就可以了,所以不仅可以评价完成的薄膜的过程评价(In-situ测定)。 通过选择照射的光的波长,除了光学常数和膜厚以外,还可以进行反射率、透过率、带结构的评价、缓存密度等评价。

因为测量反射光,所以需要表面的平坦性。照射的光的波长的几分之一被认为是界限。 另外,吸收光的金属薄膜反射光也会减少,所以很难测定。根据金属的种类不同,大概数百nm的膜厚度是测定界限。在多个膜层叠的情况下,可以测量各个膜厚度等,但是在这种情况下需要对膜和膜之间存在的界面层等进行设想,需要建立模型进行计算模拟。 因此计算变得复杂,结果的解释变得困难。

装置型号: SE-2000日本半实验室株式会社
引进年月: 2016年2月

膜厚度、光学常数测定1个样品1个测量点6400日元

• 关于试验、分析或制备需要特别的材料、劳力等的,以及研究或调查的手续费的金额,相当于实际费用。
• 特别是规定期限需要紧急处理的手续费或使用费的金额是规定金额的2倍。
• 横滨市内有事务所或事务所的人,中小企业基本法第2条中规定的中小企业(外部网站)其他委托所涉及的手续费或没有市内事务所或事务所的人员,根据同条规定的中小企业以外的人员的委托所涉及的膜厚、光学常数测定的皮膜试验所涉及的手续费的金额是规定金额的1.3倍(有不足100日元的尾数时将其尾数金额升值到100日元。)。